고종횡비 구조를 제조하는 장치 및 방법

기판 면 상에 필러(pillar)로 형성된 전류 수집기를 갖는 리튬 배터리를 제조하는 방법으로서, 상기 방법은 기판 면 상에 전기 전도성 필러를 형성하는 신장되고 정렬된 구조물을 형성하는 단계로서, 상기 기판 면에 필러 기저부터 필러 상단까지 연장하는 필러 벽이 직립되어 있는 것인, 단계;를 포함하고; 상기 필러는 제1 전극, 고체상태 전해질 층; 제2 전극 층, 및 전극 부분을 형성하는 탑스트레이트를 포함하는 라미네이트로 피복되고; 상기 제1 전극 층, 제2 전극 층 및 탑스트레이트 층의 적어도 하나는 컨포멀하지 않게 피복됨으로써 필러 기저 근처의 제1 전극 또는 제2 전극으로의 리튬 인터칼레이션을 예방하는 것인, 방법. A method of manufacturing a Lithium battery (100) with a current collector formed of pillars (11) on a substrate face (10), wherein the method comprises: forming elongate and aligned structures forming electrically conductive pillars (11) on the substrate face (10) with upstanding pillar walls extending from a pillar base to a pillar top; wherein the pillars are covered with a laminate comprising a first electrode (12), a solid state electrolyte layer (13); a second electrode layer (14), and a topstrate (20) forming an electrode part; and wherein at least one of the first electrode layer, second electrode layer and topstrate layer is non-conformally coated to prevent Lithium intercalation into the first or second electrode near the pillar base by limiting cracking at the pillar base when volume expansion/contraction of the electrode layers happens during the battery charge/discharge cycles.