OPTICAL MEASUREMENT METHOD AND OPTICAL MEASUREMENT APPARATUS

Provided is an optical measurement method using a detector having detection sensitivity in at least a near-infrared region. The optical measurement method comprises the steps of: obtaining an output value when an arbitrary light sample is measured by a detector at any exposure time; and correcting the output value with the amount of correction corresponding to the output value when the exposure time at which the output value is obtained is within a second range. The amount of correction includes a coefficient and a square of the exposure time, wherein the coefficient indicates a degree that the output value obtained when the light sample is measured by the detector at an exposure time within the second range deviates from output linearity obtained when the light sample is measured by the detector at an exposure time within a first range. 적어도 근적외 영역에 검출 감도를 갖는 검출기를 사용한 광학 측정 방법이 제공된다. 광학 측정 방법은, 임의의 샘플 광을 임의의 노광 시간에 검출기에 의해 측정했을 때의 출력값을 취득하는 스텝과, 출력값을 취득했을 때의 노광 시간이 제 2 범위내에 있으면, 출력값에 따른 보정량으로 출력값을 보정하는 스텝을 포함한다. 보정량은, 제 2 범위내의 노광 시간에 검출기에 의해 측정했을 때에 얻어지는 출력값이 제 1 범위내의 노광 시간에 검출기에 의해 측정했을 때에 얻어지는 출력 직선성에 대하여 어느 정도 어긋나 있는지를 나타내는 계수와, 노광 시간의 2 승의 곱을 포함한다.