HIGH-PRECISION DISPENSE SYSTEM WITH MENISCUS CONTROL

A technique according to the present invention includes a bladder-based dispense system using a long bladder configured to selectively expand and contract to support a dispensing action. The dispense system compensates for a filter-lag, which often involves fluid filtration for micro-processing. The dispense system also provides a dispense unit of high purity and high accuracy. A meniscus sensor monitors the position of the meniscus of a processing fluid at a nozzle. A long bladder unit is used to selectively expand and contract a bladder to maintain the position of the meniscus at a specific position, thereby moving or maintaining the position of the meniscus. An expansion of the long bladder is also used for a suck-back action after the dispensing action is complete. 본원 발명의 기술은, 분배 작용을 지원하도록 선택적으로 확장 및 수축하도록 구성된 긴 블래더(bladder)를 이용하는 블래더 기반의 분배 시스템을 포함한다. 이 분배 시스템은, 필터 래그(filter-lag)를 보상하며, 이는 미세가공을 위한 유체 여과를 종종 수반한다. 이 분배 시스템은 또한 고순도 및 고정밀도의 분배 유닛을 제공한다. 메니스커스 센서는 노즐에서의 공정 유체의 메니스커스의 위치를 모니터링한다. 긴 블래더 유닛을 이용하여 블래더를 선택적으로 확장 및 수축시킴으로써 메니스커스의 위치를 특정의 위치에 유지하고, 이에 의해 메니스커스 위치를 이동시키거나 유지시킨다. 분배 작용이 완료된 후의 석백 작용(suck-back action)을 위하여 긴 블래더의 확장이 또한 이용된다.