PLASMA TREATMENT APPARATUS
The present invention relates to a plasma treatment apparatus. The plasma treatment apparatus according to one embodiment of the present invention includes: a plasma generating unit generating plasma; a gas supply unit supplying source gas for generating plasma to the plasma generating unit; a path...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | The present invention relates to a plasma treatment apparatus. The plasma treatment apparatus according to one embodiment of the present invention includes: a plasma generating unit generating plasma; a gas supply unit supplying source gas for generating plasma to the plasma generating unit; a path providing unit providing a path through which the plasma generating unit moves on a body unit; and a driving unit moving the plasma generating unit along the path providing unit.
본 발명은 플라즈마 치료 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 치료 장치는, 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부; 상기 플라즈마 발생부에 플라즈마를 발생시키기 위한 소스 가스를 공급하는 가스 공급부; 체부 위에 상기 플라즈마 발생부가 이동하는 경로를 제공하는 경로 제공부; 및 상기 플라즈마 발생부를 상기 경로 제공부를 따라 이동시키는 구동부를 포함할 수 있다. |
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