OXIDE SINTERED COMPACT

실질적으로 인듐, 주석, 마그네슘 및 산소로 이루어지고, 주석이 Sn/(In ＋ Sn ＋ Mg) 의 원자수 비로 5 ∼ 15 ％ 의 비율, 마그네슘이 Mg/(In ＋ Sn ＋ Mg) 의 원자수 비로 0.1 ∼ 2.0 ％ 의 비율로 함유되어 있고, 잔부가 인듐 및 산소로 이루어지는 소결체로서, 상기 소결체의 표면 조도 Ra 가 0.3 ∼ 0.5 ㎛ 일 때의 항절 강도가 140 ㎫ 이상인 것을 특징으로 하는 산화물 소결체. 성막시에 타깃 균열이나 파티클 발생을 저감시킬 수 있음과 함께, 비정질 안정성이나 내구성이 우수한 박막을 형성할...

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