다이아몬드 전극 및 다이아몬드 전극의 제조 방법
본 발명은. a) 제조될 다이아몬드 전극 (22)의 치수보다 더 큰 치수를 갖는, 실리콘으로 구성된 주 몸체 (2)를 제공하는 단계, b) 상기 주 몸체 (2)의 표면으로 적어도 하나의 오목부 (10)를 에칭하는 단계, c) 상기 주 몸체 (2)에 미리 결정된 파단점 (18)을 도입하는 단계, d) 상기 주 몸체 (2)를 다이아몬드로 코팅하는 단계, e) 상기 주 몸체 (2)로부터 미리 결정된 파단점 (18)을 따라 다이아몬드 전극 (22)을 파단시키는 단계를 포함하는, 다이아몬드 전극의 제조 방법에 관한 것이다. The inven...
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| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 본 발명은. a) 제조될 다이아몬드 전극 (22)의 치수보다 더 큰 치수를 갖는, 실리콘으로 구성된 주 몸체 (2)를 제공하는 단계, b) 상기 주 몸체 (2)의 표면으로 적어도 하나의 오목부 (10)를 에칭하는 단계, c) 상기 주 몸체 (2)에 미리 결정된 파단점 (18)을 도입하는 단계, d) 상기 주 몸체 (2)를 다이아몬드로 코팅하는 단계, e) 상기 주 몸체 (2)로부터 미리 결정된 파단점 (18)을 따라 다이아몬드 전극 (22)을 파단시키는 단계를 포함하는, 다이아몬드 전극의 제조 방법에 관한 것이다.
The invention relates to a method for producing a diamond electrode, which comprises the following steps: a) providing a main body (2) composed of silicon, the dimensions of which are greater than the dimensions of the diamond electrode (22) to be produced, b) etching at least one recess (10) into the surface of the main body (2), c) introducing predetermined breaking points (18) into the main body (2), d) coating the main body (2) with diamond, e) breaking the diamond electrode (22) out of the main body (2) along the predetermined breaking points (18). |
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