Circular plane type evaporation source for micro OLED production and Evaporation device having it

The present invention relates to a circular plane-type evaporation source for manufacturing micro OLED and a circular plane-type evaporation device having the same. According to the present invention, the circular plane-type evaporation source for manufacturing the micro OLED includes: a circular silicon wafer where an organic body will be deposited; a circular shadow mask which is arranged on a lower side of the circular silicon wafer and has a pattern of an opening through which the organic body passes; a circular plane-type evaporation source where an organic thin film is formed; and a heater which heats the circular plane-type evaporation source. The circular plane-type evaporation source has a size corresponding to the circular silicon wafer, is formed to be circular in shape, and has an organic thin film where the organic body is deposited evenly. The circular plane-type evaporation source can be realized any one of a flat circular plane-type evaporation source, a circular concave curved-type source, a circular concave step-type source, and a circular convex step-type source. The circular plane-type evaporation source for manufacturing the micro OLED of the present invention induces the plane evaporation at an angle which is relatively perpendicular as compared with the organic gas evaporated at a plane-type source of the existing plane-type evaporation device and forms a shadow-free micro organic thin film pattern. Further, in an ultra-high vacuum condition where little residual gas is present in a chamber due to focusing according to an edge effect, a micro pattern process can be performed with no shadow mask with respect to the organic gas evaporated at an edge of the circular plane-type evaporation source. Accordingly, the micro OLED device of high resolution can be manufactured at lower costs. 본 발명은 마이크로 오엘이디 제조용 원형 면소스, 및 이를 구비한 원형 면소스 증착장치에 관한 것으로서, 유기물이 증착될 원형 실리콘 웨이퍼; 상기 원형 실리콘 웨이퍼의 하부에 배치되며, 유기물이 관통되는 개구부가 패터닝되어 있는 원형 섀도우 마스크; 유기박막이 형성되어 있는 원형 면소스; 및 상기 원형 면소스를 가열하는 히터;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하며, 여기서 원형 면소스는, 원형 실리콘 웨이퍼에 대응되는 사이즈를 가지며, 원형이고 유기물이 균일하게 증착되어 유기박막이 형성된 것으로, 평편한 원형 면소스, 원형 오목형 곡면소스, 원형 오목 계단면소스, 원형 볼록 계단면소스 중 어느하나가 될 수 있다. 이와 같이 구성된 본 발명에 따른 마이크로 오엘이디 제조용 원형 면소스는, 종래의 면증발 증착기의 평면소스에서 증발된 유기물 기체보다 상대적으로 수직에 가까운 각도의 면증발을 유도하여 섀도우 프리(Shadow-free)한 미세 유기박막 패턴을 형성하는 효과가 있다. 또한, 원형 면소스의 가장자리에서 증발된 유기물 기체는 엣지효과로 인한 포커싱으로 챔버 내에 잔류기체가 거의 없는 초고진공 분위기에서는 섀도우 마스크가 없이도 미세 패턴 공정이 가능하여, 보다 적은 공정 단가로 고해상도의 마이크로 OLED 소자 제작이 가능한 효과가 있다.