SUBSTRATE HOLDING DEVICE SUBSTRATE HOLDING MEMBER AND SUBSTRATE HOLDING METHOD

유지상태에 있어서의 기판의 형상 정밀도의 향상을 도모할 수 있는 기판유지장치 및 기판유지방법을 제공한다. 기판유지장치는 판형상의 제 1 기체(10)를 구비하고 있는 제 1 유지부재(1)와 박판(薄板)형상의 제 2 기체(20)를 구비하고 있는 제 2 유지부재(2)를 구비하고 있다. 제 1 기체(10)에는 그 상면까지 연통하는 통기 경로(102)가 형성되어 있다. 제 2 기체(20)에는 그 중심 개소를 두께방향으로 관통하는 관통구멍(202)이 형성되어 있다. 제 2 기체(20)의 상면에는 상측으로 돌출되어 있는 복수의 볼록부(211)와...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ISHINO TOMOHIRO, KIKUCHI SHINYA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HAND TOOLS MANIPULATORS PERFORMING OPERATIONS PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS SEMICONDUCTOR DEVICES TRANSPORTING
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