SUBSTRATE HOLDING DEVICE SUBSTRATE HOLDING MEMBER AND SUBSTRATE HOLDING METHOD

유지상태에 있어서의 기판의 형상 정밀도의 향상을 도모할 수 있는 기판유지장치 및 기판유지방법을 제공한다. 기판유지장치는 판형상의 제 1 기체(10)를 구비하고 있는 제 1 유지부재(1)와 박판(薄板)형상의 제 2 기체(20)를 구비하고 있는 제 2 유지부재(2)를 구비하고 있다. 제 1 기체(10)에는 그 상면까지 연통하는 통기 경로(102)가 형성되어 있다. 제 2 기체(20)에는 그 중심 개소를 두께방향으로 관통하는 관통구멍(202)이 형성되어 있다. 제 2 기체(20)의 상면에는 상측으로 돌출되어 있는 복수의 볼록부(211)와, 제 1 기체(10)와 중심을 같게 하는 대략 원환형상으로 상측으로 돌출되어 관통구멍(202)의 상측 개구 및 복수의 볼록부(211)를 둘러싸는 환형상 볼록부(212)가 형성되어 있다. Provided are a substrate holding device and a substrate holding method that enhance the precision of the shape of a substrate while holding the substrate. The substrate holding device includes a first holding member 1, including a plate-shaped first base 10, and a second holding member 2, including a thin plate-shaped second base 20. The first base 10 has an airway 102 extending to the upper surface of the first base 10. The second base 20 has a through hole 202 extending in a thick direction of the second base 20 at a center portion of the second base 20. The second base 20 includes, on the upper surface of the second base 20, multiple protrusions 211, which protrude upward, and at least one annular ridge 212, which protrudes upward in a substantially annular shape coaxial with the first base 10 and surrounds an upper opening of the through hole 202 and the multiple protrusions 211.