A vacuum sensor using graphene nanoribbons and a vacuum gauge using the same

The present invention relates to a sensor for measuring a vacuum degree using graphene nanoribbons including a graphene nanoribbon film formed of two or more graphene nanoribbon layers, and more particularly, a sensor for measuring a vacuum degree using graphene nanoribbons configured to sense a vacuum degree as a resistance value of the graphene nanoribbon layer. According to the present invention, the sensor for measuring a vacuum degree using the graphene nanoribbons uses graphene nanoribbons so as to shorten a cross-sectional distance thereof, such that because the resistance value changes greatly according to a bending state, the sensitivity of the sensor increases, and simultaneously, diffusion of gas molecules trapped between the graphene layers occurs at a short distance, thereby being able to increase a response speed according to the vacuum degree. 본 발명은 그래핀 나노리본을 이용한 진공도 측정 센서로서, 2층 이상의 그래핀 나노리본 층으로 이루어진 그래핀 나노리본 박막을 포함하여, 상기 그래핀 나노리본 층의 저항값으로 진공도를 감지하는 그래핀 나노리본을 이용한 진공도 측정 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따른 그래핀 나노리본을 이용한 진공도 측정 센서는 그래핀 나노리본을 사용하여 단면 거리가 짧아 굴곡 상태에 따라 저항값 변화가 매우 커, 센서의 민감도가 증가하는 동시에 그래핀 층간에 갇혀있는 가스 분자의 확산이 짧은 거리에서 일어나 진공도에 따른 응답속도를 높일 수 있는 장점이 있다.