SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS JIG FOR MAINTENANCE MAINTENANCE METHOD OF SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND STORAGE MEDIUM

The present invention relates to a substrate processing device which can freely ascend or descend from a mounting board of a substrate and can include a plurality of lift pins for receiving the substrate, thereby rapidly detecting the height of the lift pins. For this, a jig (7) with a lighting circuit is prepared inside a container (71) that has a bottom unit with the same size as the substrate. The bottom unit of the container (71) is formed by a conductive path plate (72). An insulation material (73) is placed around P1 area in order to insulate the P1 area corresponding to one lift pin (4) and another P2 area. Both ends of the lighting circuit are connected to the P1 area and an S2 area, respectively. When the jig (7) is mounted on the mounting board (2) and one lift pin (4) touches the P2 area in a state where another lift pin (4) touches the P1 area, an LED (77) inside the jig (7) is lit because of electric connection between the lift pins (4). At this time, light is detected by a light detecting unit (60) and a servomotor (5) of the lift pin (4) to be adjusted is controlled. (과제) 기판의 탑재대에 대하여 돌몰이 자유롭고, 기판의 수수를 행하기 위한 복수의 리프트 핀을 구비한 기판 처리 장치에 있어서, 리프트 핀의 높이 위치의 검출을 신속하게 행하는 것. (해결 수단) 저부가 기판과 동일한 크기로 형성된 용기(71) 내에 점등 회로가 마련된 지그(7)를 준비한다. 용기(71)의 저부는 도전로 플레이트(72)에 의해 구성되고, 한 개의 리프트 핀(4)에 대응하는 영역 P1과 다른 영역 P2를 절연하기 위해 영역 P1의 주위에 절연재(73)가 마련되고, 점등 회로의 양단은 각각 영역 P1, S2에 접속된다. 지그(7)를 탑재대(2)에 탑재하고, 영역 P1에 1개의 리프트 핀(4)을 접촉시킨 상태에서 다른 리프트 핀(4)을 영역 P2에 접촉시키면, 리프트 핀(4)끼리는 전기적으로 접속되어 있기 때문에, 지그(7) 내의 LED(77)가 점등한다. 이때의 광을 광 검출부(60)에서 검출하고, 조정 대상의 리프트 핀(4)의 서보 모터(5)를 제어한다.