ALIGN SYSTEM WITH SUBSTRATE TIGHTENING PLATE FOR STABILIZING SUBSTRATE

The present invention provides an aligning system capable of preventing vibration of a substrate and sagging phenomenon of the substrate during a process of aligning the substrate of a large area on a mask. According to the present invention, the aligning system includes an attaching plate pressing the substrate loaded by a substrate loading pin from the upper side of the substrate while the mask is arranged under the substrate to align the substrate and the mask. According to the present invention, the substrate is spread as the substrate of the large area is pressed by the weight of the attaching plate. So, the sagging phenomenon of the substrate is prevented, and the vibration of the substrate supported by the loading pin is also prevented. According to the present invention, the mask placed under the substrate is linked to a UVW stage to perform a centering motion to align the substrate and the mask while the substrate supported on the loading pin is pressed by the attaching plate. Or, a loading pin unit having the loading pin supporting the substrate pressed by the attaching plate is linked to the UVW stage to move the substrate and align the substrate and the mask. 본 발명의 목적은 대면적 기판을 마스크에 얼라인 하는 과정에서, 기판의 진동을 방지하고 기판 처짐 현상을 제거할 수 있는 얼라인 시스템을 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은, 기판과 마스크를 정렬시키기 위해, 기판 아래 편에 마스크를 배치한 상태에서, 기판 로딩 핀에 의해 인수된 기판을 기판 위에서 눌러주는 밀착 판을 포함한 얼라인 시스템을 제공한다. 즉, 본 발명은, 대면적 기판을 밀착 판의 자중으로 눌러 기판을 펴지게 함으로써 기판 처짐 현상을 방지하고, 나아가 로딩 핀에 의해 지지 되어 있는 기판이 진동하는 현상도 방지한다. 본 발명에서, 로딩 핀에 지지 된 기판은 밀착 판에 의해 가압 된 상태에서 기판 아래 편에 놓여 있는 마스크를 UVW 스테이지에 연동시켜 센터링 동작을 하여 기판-마스크 얼라인을 실시하거나, 밀착 판에 의해 가압 된 상태의 기판을 지지하는 로딩 핀이 설치된 로딩핀 유닛을 UVW 스테이지에 연동시켜 기판을 움직여 기판-마스크 얼라인을 실시할 수 있다.