APPARATUS FOR CLEANING MASK CAPABLE OF DECIDING EXCHANGE CYCLE OF CLEANING SOLUTION

The present invention relates to a mask cleaning apparatus capable of determining an exchange cycle of a cleaning solution in real time. According to the present invention, the mask cleaning apparatus comprises a monitoring unit for quantitatively measuring concentration of foreign substances in a cleaning solution, which is recovered by being connected to a drain line for recovering the cleaning solution used for cleaning a mask, from turbidity or transmittance of the cleaning solution. The monitoring unit determines an exchange cycle of the cleaning solution from variation of the turbidity or transmittance measured from the recovered cleaning solution compared to the turbidity or transmittance measured from an initial cleaning solution, or compares the turbidity or transmittance measured from the recovered cleaning solution with the limit of the turbidity or transmittance of the cleaning solution, and determines whether to exchange the same. Accordingly, the efficiency of maintaining and managing the cleaning solution used for cleaning the mask can be improved. 본 발명은 실시간으로 세정액의 교환 주기의 판정이 가능한 마스크 세정 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 마스크의 세정에 사용된 세정액을 회수하는 드레인 라인에 연결되어 회수되는 세정액 중 이물 농도를 세정액의 탁도 또는 투과도를 통해 정량적으로 측정하는 모니터링부가 구비되며, 상기 모니터링부는 초기 세정액으로부터 측정된 탁도 또는 투과도 대비 회수된 세정액으로부터 측정된 탁도 또는 투과도의 변화량을 통해 상기 세정액의 교환 주기를 판정하거나, 회수된 세정액으로부터 측정된 탁도 또는 투과도와 세정액의 탁도 또는 투과도의 한계치를 비교하여 교환 여부를 판정함으로써 마스크의 세정에 사용되는 세정액의 유지 및 관리의 효율성을 향상시키는 것이 가능하다.