정압기체베어링
진공 환경하에서 사용되는 정압기체베어링은, 가이드축과, 가이드축을 수용하면서 축방향으로 이동 가능한 통형의 슬라이더(20)를 구비한다. 슬라이더(20)는, 복수의 판형부재(20A~20D)를 체결하는 것에 의하여 구성되어 있다. 판형부재끼리의 접합면에는, 판형부재보다 탄성률이 작고 부드러운 재료로 이루어지는 막(24)이 개재되어 있다. A static pressure gas bearing used in a vacuum environment includes a guide shaft and a tubular slider 20 which...
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| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 진공 환경하에서 사용되는 정압기체베어링은, 가이드축과, 가이드축을 수용하면서 축방향으로 이동 가능한 통형의 슬라이더(20)를 구비한다. 슬라이더(20)는, 복수의 판형부재(20A~20D)를 체결하는 것에 의하여 구성되어 있다. 판형부재끼리의 접합면에는, 판형부재보다 탄성률이 작고 부드러운 재료로 이루어지는 막(24)이 개재되어 있다.
A static pressure gas bearing used in a vacuum environment includes a guide shaft and a tubular slider 20 which is movable in an axial direction in a state where the guide shaft is accommodated therein. The slider 20 is configured by fastening a plurality of plate-shaped members 20A to 20D. A film 24 formed of a soft material having a smaller elastic modulus than that of each of the plate-shaped members is interposed between joint surfaces of the plate-shaped members. |
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