HUMIDITY SENSOR

The present invention relates to a capacitive humidity sensor. According to an embodiment of the present invention to achieve the above or other objects, the present invention includes: a substrate; first and second electrodes; a plurality of electrode layers disposed on an upper surface of the substrate, and including a plurality of first protrusions extending from the first electrode and a plurality of second protrusions extending from the second electrode; and a dielectric layer covering the electrode layer and absorbing moisture, wherein the first protrusions and the second protrusions are disposed on each of the electrode layers at a predetermined interval so as to face each other, and are alternately arranged with respect to each other. According to the present invention, the capacitance of a sensing structure included in a capacitive humidity sensor is able to be increased. Thus, the present invention is able to make the humidity sensor downsized, highly sensitive, and highly precise. 본 발명은 용량형 습도 센서에 관한 것이다. 상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 측면에 따르면, 본 발명은 기판, 제1 및 제2전극, 상기 기판 상면에 배치되고, 상기 제1전극으로부터 확장되는 복수의 제1돌기부들 및 상기 제2전극으로부터 확장되는 복수의 제2돌기부들로 이루어지는 복수의 전극층들 및 상기 전극층을 덮고, 수분을 흡수하도록 이루어지는 유전체 층을 포함하고, 상기 전극층들 각각에는 상기 제1 및 제2돌기부들이 소정 간격을 두고 마주보도록 배치되며, 서로 엇갈려 배치되는 것을 특징으로 하는 습도 센서를 제공한다. 본 발명에 따르면, 용량형 습도 센서에 포함된 감지 구조의 전기 용량을 증가시킬 수 있다. 이를 통해, 습도 센서를 소형화 또는 고감도화, 고 정밀화할 수 있다.