임프린트용의 템플릿 제조 장치

실시형태에 따른 임프린트용의 템플릿 제조 장치(1)는, 주면(主面)을 갖는 기체(基體; 11)와, 주면 상에 설치되고, 주면과 반대측의 단부면을 가지며, 요철 패턴이 그 단부면에 형성된 볼록부(12)를 포함하는 템플릿(W)을, 볼록부(12)를 하방으로 향하게 하여 지지하는 지지부(3)와, 지지부(3) 상의 템플릿(W)의 하방에 설치되고, 발액재(撥液材)를 기화시키는 기화부(5)와, 지지부(3) 상의 템플릿(W)의 하방에 설치되고, 기화된 발액재가 지지부(3) 상의 템플릿(W)의 볼록부(12)의 측면에 부착되는 것을 허락하고, 요철...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KASHIWAGI HIROYUKI, HATANO MASAYUKI, NAKAMURA SATOSHI, DEMURA KENSUKE, KANG CHEN, GANACHEV IVAN PETROV, MATSUSHIMA DAISUKE
Format:	Patent
Sprache:	kor
Schlagworte:	AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDEDFOR SHAPING OR JOINING OF PLASTICS TRANSPORTING WORKING OF PLASTICS WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE, IN GENERAL
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	실시형태에 따른 임프린트용의 템플릿 제조 장치(1)는, 주면(主面)을 갖는 기체(基體; 11)와, 주면 상에 설치되고, 주면과 반대측의 단부면을 가지며, 요철 패턴이 그 단부면에 형성된 볼록부(12)를 포함하는 템플릿(W)을, 볼록부(12)를 하방으로 향하게 하여 지지하는 지지부(3)와, 지지부(3) 상의 템플릿(W)의 하방에 설치되고, 발액재(撥液材)를 기화시키는 기화부(5)와, 지지부(3) 상의 템플릿(W)의 하방에 설치되고, 기화된 발액재가 지지부(3) 상의 템플릿(W)의 볼록부(12)의 측면에 부착되는 것을 허락하고, 요철 패턴에 부착되는 것을 방지하는 방착판(防着板; 7)을 포함한다. According to one embodiment, an imprint template manufacturing apparatus includes a support unit, a vaporization unit, and an adhesion preventing plate. The support unit supports a template that includes a base having a main surface, and a convex portion provided on the main surface and having an end surface. A concavo-convex pattern to be pressed against a liquid material to be transferred is formed on the end surface. The support unit supports the template with the convex portion facing downward. The vaporization unit is located below the template on the support unit and configured to vaporize a liquid-repellent material. The adhesion preventing plate is located below the template on the support unit and configured to allow the liquid-repellent material vaporized to adhere to the side surface of the convex portion of the template and to prevent it from adhering to the concavo-convex pattern.