IMAGE SENSOR
The present invention provides an image sensor. According to an embodiment of the present invention, the image sensor comprises: a semiconductor layer having a first surface and a second surface opposite to the first surface, and including a plurality of photoelectric conversion portions configured...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | The present invention provides an image sensor. According to an embodiment of the present invention, the image sensor comprises: a semiconductor layer having a first surface and a second surface opposite to the first surface, and including a plurality of photoelectric conversion portions configured to emit light from the second surface; an interconnect layer disposed on the first surface of the semiconductor layer, and having a wiring; an anti-reflective layer including a first layer disposed on the second surface of the semiconductor layer and having a first refractive index, a second layer disposed on the first layer, having a second refractive index higher than the first refractive index, and consisting of a rutile TiO_2 layer, and a lattice adjustment layer disposed to be in contact with at least one surface among upper and lower surfaces of the second layer and consisting of at least one material selected from the group consisting of SnO_2, MoO_3, and Sb_2O_3; a buffer layer disposed on the anti-reflective layer; and a plurality of color filters disposed on the buffer layer.
본 발명의 일 실시예는, 제1 면과 상기 제1 면에 반대에 위치한 제2 면을 가지며, 상기 제2 면으로부터 광이 입사되도록 구성된 복수의 광전 변환부를 구비한 반도체층과, 상기 반도체층의 제1 면에 배치되며, 배선을 갖는 상호 연결층과, 상기 반도체층의 제2 면에 배치되며 제1 굴절률을 갖는 제1 층과, 상기 제1 층 상에 배치되고 제1 굴절률보다 높은 제2 굴절률을 가지며 루타일(rutile) 상 TiO층으로 이루어진 제2 층과, 상기 제2 층의 상면 및 하면 중 적어도 일 면에 접하도록 배치되며 SnO, MoO및 SbO로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어진 격자 조정층을 구비한 반사 방지층(anti-reflective layer)과, 상기 반사 방지층 상에 배치된 버퍼층과, 상기 버퍼층 상에 배치된 복수의 컬러 필터를 포함하는 이미지 센서를 제공한다. |
---|