METHOD OF MAKING GLASS SUBSTRATE GLASS SUBSTRATE AND BUNDLE OF GLASS SUBSTRATES

유리 기판에 변형이 생기기 어려워, 유리 기판의 주표면의 요철을 만들기 어렵게 하는 유리 기판의 제조 방법은, 용융 유리의 도입에 의해 기상 공간이 형성되는, 벽의 적어도 일부가 백금족 금속제인 유리 처리 장치에서 용융 유리를 처리할 때, 기상 공간에 존재하는 벽으로부터 휘발한 백금족 금속의 휘발물의 응집물이 이물질로서 혼입되는 용융 유리 처리 공정과, 이 용융 유리 처리 공정에서 용융 유리에 혼입된 응집물 중, 최대 길이가 50㎛ 이하인 응집물의 개수의 비율이 70％ 이상이 되도록, 응집물의 크기를 작게 하는 응집물 처리 공정을 구비한다. 유리 기판 적층체의 유리 기판의 체적 합계는 0.1㎥ 이상이며, 유리 기판이 포함하는 전체 백금족 금속 응집물 중, 최대 길이가 50㎛ 이하인 응집물의 개수의 비율은, 70％ 이상이다. The glass substrate manufacturing method according to the present invention, whereby distortion is less prone to occur in a glass substrate and unevenness of the principal surface of a glass substrate is less prone to form, is provided with: a molten glass treatment step in which, when molten glass is treated in a glass treatment device in which a gas-phase space is formed by introduction of the molten glass and at least a portion of a wall of the glass treatment device is made of a platinum-group metal, aggregates of platinum-group metal volatile matter volatilized from a wall of the glass treatment device and present in the gas-phase space mix into the molten glass as foreign matter; and an aggregate treatment step for reducing the size of the aggregates so that the ratio of the number of aggregates having a maximum length of 50 µm or less among the aggregates mixed into the molten glass in the molten glass treatment step is at least 70%. The total volume of the glass substrate in the glass substrate layered body according to the present invention is at least 0.1 m3, and the ratio of the number of aggregates having a maximum length of 50 µm or less among all platinum-group metal aggregates included in the glass substrate is at least 70%.