정전 척 히터
정전 척 히터는, 정전 척과 지지대 사이에, 수지 시트(32)에 히터선(34)이 매설된 시트 히터(30)가 배치된 것이다. 히터선(34)은, 수지 시트(32)의 다수의 존(Z1)마다 마련되고, 일단(34a)으로부터 타단(34b)까지 일필서(一筆書)의 요령으로 존(Z1) 전체에 고루 미치도록 배선된 구리선에 의해 구성되어 있다. An electrostatic chuck heater is such that a sheet heater formed by embedding a heater wire in a resin sheet is disp...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | kor |
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| Zusammenfassung: | 정전 척 히터는, 정전 척과 지지대 사이에, 수지 시트(32)에 히터선(34)이 매설된 시트 히터(30)가 배치된 것이다. 히터선(34)은, 수지 시트(32)의 다수의 존(Z1)마다 마련되고, 일단(34a)으로부터 타단(34b)까지 일필서(一筆書)의 요령으로 존(Z1) 전체에 고루 미치도록 배선된 구리선에 의해 구성되어 있다.
An electrostatic chuck heater is such that a sheet heater formed by embedding a heater wire in a resin sheet is disposed between an electrostatic chuck and a support pedestal. The heater wires are provided one for each of many zones of the resin sheet, and are composed of copper wires routed unicursally from their first ends to their second ends so as to extend throughout the zones. |
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