Vacuum Filter Module and Equipment for Manufacturing Semiconductor Device Having the Same

본 기술의 일 실시예에 의한 진공 필터 모듈은 커버 본체에 어레이 형태로 배열된 복수의 흡착구와, 흡착구 각각의 일측에 체결되는 복수의 어댑터를 포함하는 일체형 커버, 복수의 어댑터 각각에 결합되는 복수의 필터 및 일측에 복수의 어댑터 각각에 결합된 복수의 필터가 각각 삽입되는 복수의 결합 홀이 어레이 형태로 배치되는 매니폴드 본체를 포함하는 일체형 케이스를 포함하도록 구성될 수 있다....

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SONG, YO SEOP, SHIN, JU YONG, KIM, IY KYU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEMICONDUCTOR DEVICES SEPARATION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 기술의 일 실시예에 의한 진공 필터 모듈은 커버 본체에 어레이 형태로 배열된 복수의 흡착구와, 흡착구 각각의 일측에 체결되는 복수의 어댑터를 포함하는 일체형 커버, 복수의 어댑터 각각에 결합되는 복수의 필터 및 일측에 복수의 어댑터 각각에 결합된 복수의 필터가 각각 삽입되는 복수의 결합 홀이 어레이 형태로 배치되는 매니폴드 본체를 포함하는 일체형 케이스를 포함하도록 구성될 수 있다.