FILM FORMING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING COATED CUTTING TOOL

피성막물에 코팅막을 형성하는 성막 영역을 갖는 성막실과, 피성막물을 지지한 반송 캐리어를 반송하는 반송 장치와, 반송 캐리어를 통해서 피성막물에 바이어스 전압을 인가하는 바이어스 전원을 구비하고, 반송 캐리어에는, 피성막물을 지지하여 축 둘레로 회전하는 복수의 로드가 기립 자세로 캐리어 반송 방향을 따라서 배치되고, 로드의 외주면에 직경 방향 외측으로 돌출되는 돌출 부재가 형성되고, 성막실의 벽면에, 성막실 내를 이동하는 반송 캐리어의 돌출 부재를 걸어 로드를 축 둘레로 회전시키는 간섭 부재가 절연 부재를 개재하여 형성되고, 간섭 부재와 바이어스 전원은 전기적으로 접속되어 있는, 성막 장치. This deposition apparatus includes a deposition chamber which includes a deposition region for forming a coating film on an object to be coated, a conveying device which conveys a conveyed carrier supporting the object to be coated, and a bias power source which applies a bias voltage to the object to be coated via the conveyed carrier, in which a plurality of rods which support the object to be coated and rotate around axes are disposed in the conveyed carrier along a carrier conveying direction in an upright posture, a protrusion member protruding to the outside in a radial direction is provided on an outer peripheral surface of the rod, an interference member which catches the protrusion member of the conveyed carrier moving in the deposition chamber and rotates the rod around the axis is provided on a wall surface of the deposition chamber via an insulation member, and the interference member and the bias power source are electrically connected to each other.