SYSTEM FOR OPTICAL INSPECTION USING MULTIPLE LASER DIODE

The present invention relates to an optical inspection system using multiple laser diodes, configured to generate laser beam through multiple laser diodes, receive laser beam reflected from an irradiation area of an inspection target object through a deformation measuring device so as to divide the received laser beam into multiple different paths, reflect the laser beam that is divided into the multiple different paths through each mirror so as to photograph the same, receive photographed data from the deformation measuring device through a control device so as to acquire a speckle pattern image with respect to the irradiation area of the inspection target object and to store the acquired speckle pattern image in database for each inspection target object and manage the same, and compare a current speckle pattern image with respect to the irradiation area of the inspection target object with a prior speckle pattern image so as to monitor defects and deformation of the irradiation area of the inspection target object. Therefore, it is possible to not only widen a measurement area with respect to the inspection target object through the multiple laser diodes, but also store the speckle pattern image of the inspection target object in database to efficiently and integrally manage the same. At the same time, it is possible to quantify defects and deformation of the inspection target object through the speckle pattern image of the inspection target object, which is stored in database. 본 발명은 다중 레이저다이오드를 이용한 광학검사 시스템에 관한 것으로, 복수개의 레이저다이오드를 통해 레이저빔을 발생하고, 변형계측장치를 통해 검사대상객체의 조사영역으로부터 반사된 레이저빔을 제공받아 복수개의 서로 다른 경로로 분할하고, 상기 복수개의 서로 다른 경로로 분할된 레이저빔을 각각의 거울을 통해 반사시켜 촬상하며, 제어장치를 통해 변형계측장치로부터 촬상된 데이터를 제공받아 검사대상객체의 조사영역에 대한 스페클(speckle) 패턴 이미지를 획득함과 아울러 상기 획득된 스페클 패턴 이미지를 검사대상객체별로 데이터베이스화하여 저장 및 관리하고, 검사대상객체의 조사영역에 대한 현재 스페클 패턴 이미지를 기준으로 이전 스페클 패턴 이미지와 비교하여 검사대상객체의 조사영역에 대한 결함 및 변형을 모니터링함으로써, 복수개의 레이저다이오드를 통해 검사대상객체에 대한 계측영역을 넓일 수 있을 뿐만 아니라, 검사대상객체의 스페클 패턴 이미지를 데이터베이스화하여 이들을 효율적 및 통합적으로 관리할 수 있으며, 아울러 데이터베이스화된 검사대상객체의 스페클 패턴 이미지를 통해 검사대상객체에 대한 결함 및 변형을 정량화시킬 수 있는 효과가 있다.