OPTICAL INSPECTION SYSTEM AND METHOD INCLUDING ACCOUNTING FOR VARIATIONS OF OPTICAL PATH LENGTH WITHIN A SAMPLE

조명기/수집기 조립체(104)는 샘플(102)에 입사광(106)을 전달하고 샘플(102)로부터 복귀하는 복귀 광(112)을 수집할 수 있다. 센서(114)는 수집된 복귀 광(112)에 대한 광선 위치 및 광선 각도의 함수로서 광선 세기들을 측정할 수 있다. 광선 선택기는 센서(114)에서의 수집된 복귀 광(112)으로부터, 제1 선택 기준을 충족하는 광선들의 제1 서브세트를 선택할 수 있다. 일부 예들에서, 광선 선택기는 광선 세기들을 빈들로 집합화할(aggregate) 수 있으며, 각각의 빈은 광학적 경로 길이들의 각각의 범위 내...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	TERREL MATTHEW A, ARBORE MARK A
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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