OPTICAL INSPECTION SYSTEM AND METHOD INCLUDING ACCOUNTING FOR VARIATIONS OF OPTICAL PATH LENGTH WITHIN A SAMPLE

조명기/수집기 조립체(104)는 샘플(102)에 입사광(106)을 전달하고 샘플(102)로부터 복귀하는 복귀 광(112)을 수집할 수 있다. 센서(114)는 수집된 복귀 광(112)에 대한 광선 위치 및 광선 각도의 함수로서 광선 세기들을 측정할 수 있다. 광선 선택기는 센서(114)에서의 수집된 복귀 광(112)으로부터, 제1 선택 기준을 충족하는 광선들의 제1 서브세트를 선택할 수 있다. 일부 예들에서, 광선 선택기는 광선 세기들을 빈들로 집합화할(aggregate) 수 있으며, 각각의 빈은 광학적 경로 길이들의 각각의 범위 내의 추정된 광학적 경로 길이를 샘플(102) 내에서 횡단하는, 수집된 복귀 광(112) 내의 광선들에 대응한다. 특성화기(characterizer)는 광선들의 제1 서브세트에 대한 광선 세기들, 광선 위치들, 및 광선 각도들에 기초하여, 흡수율과 같은 샘플(102)의 물리적 속성을 결정할 수 있다. 샘플 내에서 횡단된 광학적 경로 길이의 변동(variation)들을 고려하는 것은 정확성을 향상시킬 수 있다. An illuminator/collector assembly (104) can deliver incident light (106) to a sample (102) and collect return light (112) returning from the sample (102). A sensor (114) can measure ray intensities as a function of ray position and ray angle for the collected return light (112). A ray selector (116) can select a first subset of rays from the collected return light (112) at the sensor (114) that meet a first selection criterion. In some examples, the ray selector (116) can aggregate ray intensities into bins, each bin corresponding to rays in the collected return light (112) that traverse within the sample (102) an estimated optical path length within a respective range of optical path lengths. A characterizer can determine a physical property of the sample (102), such as absorptivity, based on the ray intensities, ray positions, and ray angles for the first subset of rays. Accounting for variations in optical path length traversed within the sample (102) can improve accuracy.