FLOW RATE VERIFICATION UNIT

제2 차단 밸브를 폐쇄한 상태에서 압력계가 측정하는 압력 측정값의 단위 시간당 압력 변동값과 온도계가 측정하는 온도 측정값을 사용하여, 유량 제어 밸브와 제2 차단 밸브 사이의 용적을 산출하여, 매스 플로우 컨트롤러의 유량을 1개씩 검정하는 유량 검정 유닛에 있어서, 가스 집적 유닛에 착탈 가능하게 접속되는 제1 검정측 접속부(2)를 압력계의 상류측에 설치하고, 직렬로 접속되는 검정 가스 입력 밸브와 검정측 매스 플로우 컨트롤러와 검정측 유량 제어 밸브를, 제2 차단 밸브에 대해 병렬로 설치한다. A flow rate verific...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SHIROYAMA NAOYA, SUGINO AKIHITO, ITO MINORU
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CONTROLLING MEASURING MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL METERING BY VOLUME PHYSICS REGULATING SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES TESTING
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