FLOW RATE VERIFICATION UNIT

제2 차단 밸브를 폐쇄한 상태에서 압력계가 측정하는 압력 측정값의 단위 시간당 압력 변동값과 온도계가 측정하는 온도 측정값을 사용하여, 유량 제어 밸브와 제2 차단 밸브 사이의 용적을 산출하여, 매스 플로우 컨트롤러의 유량을 1개씩 검정하는 유량 검정 유닛에 있어서, 가스 집적 유닛에 착탈 가능하게 접속되는 제1 검정측 접속부(2)를 압력계의 상류측에 설치하고, 직렬로 접속되는 검정 가스 입력 밸브와 검정측 매스 플로우 컨트롤러와 검정측 유량 제어 밸브를, 제2 차단 밸브에 대해 병렬로 설치한다. A flow rate verification unit that uses the pressure variation value per unit time of a pressure measurement value measured by a pressure gauge and a temperature measurement value measured by a thermometer in a state where a second shut-off valve is closed to calculate the volume between a flow-rate control valve and the second shut-off valve and verifies the flow rates of mass flow controllers one at a time, wherein a first verification side connection part attachably and detachably connected to an integrated gas unit is provided upstream from the pressure gauge and a serially connected verification gas input valve, verification side mass flow controller, and verification side flow rate control valve are provided in parallel with the second shut-off valve.