QUALITY ESTIMATION AND IMPROVEMENT OF IMAGING METROLOGY TARGETS

타겟의 주기적 구조물(들)의 주기성 관하여 측정된 커널 상의 푸리에 필터의 적용으로부터 유도되는 그 ROI 커널의 노이즈 메트릭을 계산함으로써 계측 타겟의 품질을 추정하고, 타겟 품질을 표시하기 위하여 계산된 노이즈 메트릭을 이용하는 방법이 제공된다. 추가의 푸리에 필터가 주기적 구조물(들)의 수직 분할의 주기성에 관하여 측정된 커널 상에 수직으로 적용될 수 있고, (2D) 노이즈 메트릭은 두 푸리에 필터들 모두의 적용에 의해 유도될 수 있다 추정된 노이즈는 타겟 상에 다양한 유형의 정보를 제공하기 위해 통계적으로 분석될 수 있다. Methods are provided, which estimate a quality of a metrology target by calculating a noise metric of its ROI kernels, derived from application of a Fourier filter on the measured kernel with respect to a periodicity of the target's periodic structure(s); and using the calculated noise metric to indicate the target quality. An additional Fourier filter may be applied perpendicularly on the measured kernel with respect to a periodicity of a perpendicular segmentation of the periodic structure(s), and the (2D) noise metric may be derived by application of both Fourier filters. The estimated noise may be analyzed statistically to provide various types of information on the target.