WAFER CONTAINER

웨이퍼 보관 용기는 베이스, 가이드, 커버, 로킹 부재 및 실링 부재를 포함할 수 있다. 상기 베이스는 복수개의 웨이퍼들이 안치되는 안치면을 가질 수 있다. 상기 가이드는 상기 베이스의 안치면에 배치되어, 상기 웨이퍼들이 수용되는 공간을 한정할 수 있다. 상기 커버는 상기 베이스의 안치면을 덮을 수 있다. 상기 로킹 부재는 상기 커버를 상기 베이스에 로킹시킬 수 있다. 상기 실링 부재는 상기 로킹 부재와 상기 가이드 사이를 실링하여, 상기 수용 공간으로 외기가 침투하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 실링 부재가 가이드와 로킹 부재...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KIM, JIN HO, NAM, JUNG HUN, KIM, HYEOG KI, CHO, HYUN HO, KIM, DONG YEON
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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