WAFER CONTAINER

웨이퍼 보관 용기는 베이스, 가이드, 커버, 로킹 부재 및 실링 부재를 포함할 수 있다. 상기 베이스는 복수개의 웨이퍼들이 안치되는 안치면을 가질 수 있다. 상기 가이드는 상기 베이스의 안치면에 배치되어, 상기 웨이퍼들이 수용되는 공간을 한정할 수 있다. 상기 커버는 상기 베이스의 안치면을 덮을 수 있다. 상기 로킹 부재는 상기 커버를 상기 베이스에 로킹시킬 수 있다. 상기 실링 부재는 상기 로킹 부재와 상기 가이드 사이를 실링하여, 상기 수용 공간으로 외기가 침투하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 실링 부재가 가이드와 로킹 부재 사이를 실링하게 되므로, 오염 물질을 포함하는 외기가 가이드 내의 수용 공간으로 침투하는 것이 억제될 수 있다. A wafer container includes a base, a guide, a cover, a locking member and a sealing member. The base includes an installing surface thereon. The guide is disposed on the installing surface of the base. The guide is configured to confine a plurality of wafers horizontally stacked upon the installing surface of the base. The cover is configured to cover the installing surface. The locking member is configured to lock the cover to the base. The sealing member is configured to create an air-tight seal between the locking member and the guide.