A ELECTROSTATIC CHUCK ASSEMBLY A SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS HAVING THE SAME AND A TEMPERATURE MESURING METHOD FOR ELECTROSTATIC CHUCK

정전척 어셈블리 및 그를 포함하는 반도체 제조장치, 그리고 정전척 온도 측정방법이 개시된다. 본 발명에 따른 정전척 어셈블리는, 정전기력에 의해 기판을 흡착하며, 복수의 구획으로 구분된 복수의 측정존을 구비하는 정전척; 및 정전척에 결합되어 정전척의 기준 온도를 측정하는 기준 온도 센서유닛; 기준 온도 센서유닛에 이격되게 정전척에 결합되어 복수의 측정존의 측정존 온도신호를 감지하는 측정존 온도 센서유닛; 및 기준 온도 센서유닛에서 측정된 기준 온도를 기초로 미리 결정된 온도 범위 내로 계측 범위를 설정하고 계측 범위 내에서 측정존 온도 센서유닛에서 감지한 측정존 온도신호를 계측하여 측정존 온도를 산출하는 측정존 온도 계측유닛을 포함한다. An electrostatic chuck assembly includes a reference temperature sensor, a measurement zone temperature sensor, and a measurement zone temperature calculator. The reference temperature sensor measures a reference temperature of the electrostatic chuck. The measurement zone temperature sensor is spaced from the reference temperature sensor on the electrostatic chuck and senses temperature signals of a plurality measurement zones of the electrostatic chuck. The measurement zone temperature calculator calculates a temperature of each of the measurement zones by setting a measurement range within a temperature range, previously determined based on the reference temperature measured by the reference temperature sensor, and measures the temperature signal of each of the measurement zones sensed by the measurement zone temperature sensor within the measurement range.