MCA DESIGN FOR STORING AND ORGANIZING MINIMUM CONTACT AREA FEATURES AND WAFER TRANSFER PINS DURING SYSTEM MAINTENANCE

기판 프로세싱 시스템의 MCA (minimum contact area) 컴포넌트들을 저장하기 위한 트레이는 제 1 리프트 핀 트레이 및 제 1 복수의 홀들 중 적어도 하나를 포함한 제 1 격실을 포함한다. 제 1 리프트 핀 트레이는 기판 프로세싱 시스템의 리프트 핀들을 보유하도록 구성된 복수의 슬롯들을 포함한다. 제 1 복수의 홀들은 기판 프로세싱 시스템의 MCA 핀들을 수용하도록 구성된다. 제 1 컵은 제 1 격실에 인접하게 배치된다. 제 1 컵은 제 1 컵을 적어도 부분적으로 둘러싸는 벽을 포함하고, 벽은 제 1 격실로부터 제 1 컵을 분리하고, 그리고 벽의 상부 에지는 제 1 격실의 하단 표면 위로 연장한다. A tray for storing minimum contact area (MCA) components of a substrate processing system includes a first compartment including at least one of a first lift pin tray and a first plurality of holes. The first lift pin tray includes a plurality of slots configured to retain lift pins of the substrate processing system. The first plurality of holes is configured to receive MCA pins of the substrate processing system. A first cup is arranged adjacent to the first compartment. The first cup includes a wall at least partially surrounding the first cup, the wall separates the first cup from the first compartment, and an upper edge of the wall extends above a bottom surface of the first compartment.