ALIGN SYSTEM WITH SUBSTRATE TIGHTENING PLATE FOR STABILIZING SUBSTRATE

본 발명의 목적은 대면적 기판을 마스크에 얼라인 하는 과정에서, 기판의 진동을 방지하고 기판 처짐 현상을 제거할 수 있는 얼라인 시스템을 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은, 기판과 마스크를 정렬시키기 위해, 기판 아래 편에 마스크를 배치한 상태에서, 기판 로딩 핀에 의해 인수된 기판을 기판 위에서 눌러주는 밀착 판을 포함한 얼라인 시스템을 제공한다. 즉, 본 발명은, 대면적 기판을 밀착 판의 자중으로 눌러 기판을 펴지게 함으로써 기판 처짐 현상을 방지하고, 나아가 로딩 핀에 의해 지지 되어 있는 기판이 진동하는...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	PARK, KWANG SOO, KIM, JEONG YONG, JEON, OK CHUL, CHOI, KYU HWANG, CHOI, SANG GYU, HWANG, SUNG YONG, JEONG, HA KYOUNG, JEONG, KWANG HO
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명의 목적은 대면적 기판을 마스크에 얼라인 하는 과정에서, 기판의 진동을 방지하고 기판 처짐 현상을 제거할 수 있는 얼라인 시스템을 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라 본 발명은, 기판과 마스크를 정렬시키기 위해, 기판 아래 편에 마스크를 배치한 상태에서, 기판 로딩 핀에 의해 인수된 기판을 기판 위에서 눌러주는 밀착 판을 포함한 얼라인 시스템을 제공한다. 즉, 본 발명은, 대면적 기판을 밀착 판의 자중으로 눌러 기판을 펴지게 함으로써 기판 처짐 현상을 방지하고, 나아가 로딩 핀에 의해 지지 되어 있는 기판이 진동하는 현상도 방지한다. 본 발명에서, 로딩 핀에 지지 된 기판은 밀착 판에 의해 가압 된 상태에서 기판 아래 편에 놓여 있는 마스크를 UVW 스테이지에 연동시켜 센터링 동작을 하여 기판-마스크 얼라인을 실시하거나, 밀착 판에 의해 가압 된 상태의 기판을 지지하는 로딩 핀이 설치된 로딩핀 유닛을 UVW 스테이지에 연동시켜 기판을 움직여 기판-마스크 얼라인을 실시할 수 있다.