OPTICAL FIBER OPTICAL SENSOR HAVING THE SAME MANUFACTURING METHOD OF OPTICAL FIBER AND DEPOSITION APPARATUS FOR THEM
개시된 본 발명에 의한 광섬유는 적어도 일부 영역에 폐곡면 형상의 플라즈모닉 광필터가 마련된다. 이러한 플라즈모닉 광필터는 코어(core)를 노출시키는 단계, 코어의 회전축을 전환시켜 원주방향으로 회전시키면서 진공기상증착에 의해 금속박막을 코어에 형성시키는 단계 및, 금속박막에 나노 패턴을 패터닝하는 단계를 포함하여 제조된다. 이러한 구성에 의하면, 광신호 발생 면적을 증대시킬 수 있게 된다. Disclosed is an optical fiber including a plasmonic optical filter with a clos...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | 개시된 본 발명에 의한 광섬유는 적어도 일부 영역에 폐곡면 형상의 플라즈모닉 광필터가 마련된다. 이러한 플라즈모닉 광필터는 코어(core)를 노출시키는 단계, 코어의 회전축을 전환시켜 원주방향으로 회전시키면서 진공기상증착에 의해 금속박막을 코어에 형성시키는 단계 및, 금속박막에 나노 패턴을 패터닝하는 단계를 포함하여 제조된다. 이러한 구성에 의하면, 광신호 발생 면적을 증대시킬 수 있게 된다.
Disclosed is an optical fiber including a plasmonic optical filter with a closed curved shape provided at, at least portion thereof. A method of manufacturing the plasmonic optical filter includes a step of exposing a core, a step of forming a thin metal film on the core through physical vapor deposition while rotating the core in a circumferential direction after changing a rotation axis of the core, and a step of patterning nanopatterns on the cylinder-shaped thin metal film using focused ion beam technique assisted with endpoint detection method. Due to such constitutions, an active area to generate an optical signal for optical sensor can be increased. |
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