GAS TEMPERATURE MEASUREMENT METHOD AND GAS INTRODUCTION SYSTEM

배관 내의 가스 온도를 측정할 수 있는 가스 온도 측정 방법을 제공한다. 제 2 배관(12b)의 내부 용적 V, 제 1 배관(12a) 내 및 제 2 배관(12b) 내에 질소 가스를 도입했을 때의 제 1 배관(12a) 내의 가스의 압력 상승률 b, 제 1 배관(12a) 내에만 질소 가스를 도입했을 때의 제 1 배관(12a) 내의 가스의 압력 상승률 b, SI 단위계로 치환된 도입되는 질소 가스의 유량 Q및 절대 온도로 치환된 질소 가스의 온도 T에 근거하여 제 1 배관(12a) 내의 가스의 온도 T가 산출된다. There is provided a method of measuring a temperature of a gas in a line connected to a gas supply source and a decompressor, the line being divided by a first, a second and a third valve into a first line between the first valve and the second valve and a second line between the second valve and the third valve. A first pressure rise rate of a gas in the first line is measured when introducing a gas at a predetermined flow rate into the first and the second line. A second pressure rise rate of a gas in the first line is measured when introducing a gas at a predetermined flow rate only into the first line. A gas temperature in the first line is calculated based on known inner volume of the second line, the first pressure rise rate, and the second pressure rise rate.