SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM WITH TRAY AND MASK INTEGRATED

본 발명의 목적은 다양한 물품 제작에 대해 옴니버스하게 적용될 수 있는 기판이송장치를 제공하고자 하는 것으로, 특히, 기판의 데드존이 물품별로 달라도 그에 맞추어 로딩 핀 배열을 달리할 필요가 없는 기판 이송장치를 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라, 본 발명은, 기판을 이송할 트레이를 준비하되, 상기 트레이는 마스크이기도 하며(마스크 겸용 트레이), 트레이가 있는 챔버 안으로 기판을 반입할 때, 박막 소자가 증착되는 기판 면('페이스'라 부른다)이 위를 향하도록 로봇 암이 기판의 배면을 받쳐 반입하며, 기판을 로딩 핀이 인수받아 상기 트레이에 얼라인 한 후 트레이에 있는 클램프로 기판 가장자리를 트레이에 고정시켜 기판을 이송하도록 하였다. 본 발명에 따르면, 기판이 페이스 업 상태로 반입되기 때문에, 특별히 데드존에 구애받지 않고 기판을 로딩하고 얼라인할 수 있는 장점이 있다.