PROBE CARD

The present invention relates to a probe card. The probe card according to an embodiment of the present invention includes: a probe head having a plurality of probe needles being in contact with a wafer; a main printed circuit board which receives an external test signal, outputs an electric signal, and is electrically connected to the probe head; a plurality of coaxial cables connecting the probe head and the main printed circuit board; a first reinforcing portion fixed to an upper surface of the main printed circuit board; a second reinforcing portion coupled to an upper portion of the first reinforcing portion; and a flatness adjusting screw for adjusting the flatness of the probe head, wherein the flatness adjusting screw includes a pin head coupled to the second reinforcing portion, a pin body passing through the first reinforcing portion and the main circuit board, and a pin coupling portion coupled to the probe head. The main circuit board includes a first through hole through which the pin body of the flat adjustment screw passes, wherein the diameter of the first through hole is larger than the diameter of the pin body. According to the present invention, by replacing only the probe head and the second reinforcing portion, it is possible to cope with various sizes of memory chips and the probe card can be recycled without changing the main printed circuit board. 본 발명은 프로브 카드를 제안한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 카드는 웨이퍼에 접촉되는 복수의 프로브 니들이 구비된 프로브 헤드; 외부 테스트 신호를 수신하여, 전기 신호를 출력하고, 프로브 헤드와 전기적으로 접속되는 메인 인쇄 회로 기판; 프로브 헤드와 메인 인쇄 회로 기판를 연결하는 복수의 동축 케이블; 메인 인쇄 회로 기판의 상부면에 고정되는 제1 보강부; 제1 보강부의 상부에 결합되는 제2 보강부; 및 프로브 헤드의 평탄도를 조절하는 평탄도 조절 나사를 포함하되, 평탄도 조절 나사는 제2 보강부에 결합되는 핀 헤드; 제1 보강부 및 메인 인쇄 회로 기판을 관통하는 핀 바디; 및 프로브 헤드에 결합되는 핀 결합부를 포함하고, 메인 회로 기판은 평탄 조절 나사의 핀 바디가 관통되는 제1 관통홀을 포함하되, 제1 관통홀의 지름은 상기 핀 바디의 지름 보다 크게 형성된다.