COVERING FOR A COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING A COVERING FOR A COMPONENT
본 발명은 (예컨대, MEMS, BAW, 또는 SAW 타입의) 전자 컴포넌트를 위한 커버(1)에 관한 것이다. 커버는 다수의 융기부들(8, 9, 15) 및/또는 함몰부들(10, 11, 16)이 있는 구조물(19, 20, 21)을 갖는 적어도 하나의 층(5, 6, 7)을 포함한다. 본 발명은 또한 이러한 타입의 커버(1)를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다. The invention relates to a covering (1) for an electronic component (e.g. of the MEMS, BAW, or SAW...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 본 발명은 (예컨대, MEMS, BAW, 또는 SAW 타입의) 전자 컴포넌트를 위한 커버(1)에 관한 것이다. 커버는 다수의 융기부들(8, 9, 15) 및/또는 함몰부들(10, 11, 16)이 있는 구조물(19, 20, 21)을 갖는 적어도 하나의 층(5, 6, 7)을 포함한다. 본 발명은 또한 이러한 타입의 커버(1)를 제조하기 위한 방법에 관한 것이다.
The invention relates to a covering (1) for an electronic component (e.g. of the MEMS, BAW, or SAW type). The covering comprises at least one layer (5, 6, 7) having a structure (19, 20, 21) with a number of prominences (8, 9, 15) and/or depressions (10, 11, 16). The invention furthermore relates to a method for producing a covering (1) of this type. |
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