Transfer robot and Apparatus for treating substrate with the robot

The present invention provides an apparatus for transferring a substrate. A transfer robot comprises: a first hand allowing a substrate to be placed thereon, and having a first support surface in which a first adsorption hole is formed; a moving member moving the first hand; a first decompression line connected to the first adsorption hole; a vacuum member decompressing the first decompression line; and an orifice installed in the first decompression line, wherein an alleviation flow path having a smaller internal diameter than the first decompression line is formed therein. The orifice alleviates a pressure fluctuation range of a decompression line. Therefore, pressure of the decompression line can be measured to accurately determine whether there is a substrate supported by a hand. 본 발명은 기판을 반송하는 장치를 제공한다. 반송 로봇은 기판이 놓이며 제1흡착홀이 형성되는 제1지지면을 가지는 제1핸드, 상기 제1핸드를 이동시키는 이동 부재, 상기 제1흡착홀에 연결되는 제1감압 라인, 상기 제1감압 라인을 감압하는 진공 부재, 그리고 상기 제1감압 라인에 설치되며, 내부에 상기 제1감압 라인보다 작은 내경을 가지는 완화 유로가 형성되는 오리피스를 포함한다. 오리피스는 감압 라인의 압력 변동폭을 완화한다. 이로 인해 감압 라인의 압력을 측정하고, 이로부터 핸드에 지지되는 기판의 유무를 정확히 판별할 수 있다.