calibration method according to shrinkage using a real-time update of the alignment mark

The present invention relates to a correction method for shrinkage using real-time updating of an alignment mark, and more specifically, to a correction method for shrinkage using real-time updating of an alignment mark which can correct shrinkage and even when a plurality of laminates are shrunk during lamination, can reset (the correct) virtual coordinates altered by the shrinkage to thus allow the fine patterns to be laminated without defects. According to the present invention, the correction method comprises: an alignment mark storage step for storing from a pre-set original image, brightness values of pixel positions of the original image; a first lamination stage for laminating a first material on the basis of virtual coordinates associated with pre-set first modelling data to form a first laminate; a recognition stage for photographing in real-time the first laminate which is formed in the first lamination stage to continually update comparative images; and a calculation stage for performing calculations, by comparing the continuously-photographed comparative images in the recognition stage to the original image, to continually reset the virtual coordinates altered by shrinkage of the first laminate. 본 발명은 얼라인 마크의 실시간 업데이트를 이용한 수축에 따른 보정 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 적층과정에서 복수의 적층체가 수축되더라도 수축에 의해 변동된 가상의 좌표값을 재 설정(보정)하여 불량 없이 미세 패턴을 적층하기 위한 얼라인 마크의 실시간 업데이트를 이용한 수축에 따른 보정 방법에 관한 것이다. 또한, 기 입력된 원본 이미지로부터 원본 이미지의 픽셀 위치별 밝기값을 저장하는 얼라인 마크 저장단계와 기 입력된 제1 모델링 데이터에 대응하는 형태로 가상의 좌표값을 바탕으로 제1 재료를 적층하여 제1 적층체를 형성하기 위한 제1 적층단계와 상기 제1 적층단계에 의해 형성되는 제1 적층체를 실시간으로 촬영하여 비교 이미지를 연속하여 업데이트하기 위한 인식단계와 상기 인식단계에 의해 연속 촬영되는 비교 이미지를 원본 이미지와 비교 연산하여 제1 적층체의 수축에 의해 변동된 가상의 좌표값을 지속적으로 재 설정하는 연산단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.