LINEAR INSPECTION SYSTEM

본 개시내용의 실시예들은 일반적으로, 포괄적인, 확장가능한 기판 검사 시스템들에 관한 것이다. 검사 시스템들은, 두께, 비저항, 소우 마크(saw mark)들, 기하형상, 스테인(stain)들, 칩(chip)들, 마이크로 크랙(micro crack)들, 결정 프랙션(crystal fraction), 및 포토루미네선스(photoluminescence)를 포함하는, 기판의 하나 또는 그 초과의 특성들을 검사, 검출, 또는 측정하도록 적응된 다수의 계측 유닛들을 포함한다. 검사 시스템들은, 기판을 태양 전지로 프로세싱하기 전에, 기판들...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ZHONG SHENGDE, SCHLEZINGER ASAF
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER ELECTRICITY GENERATION GENERATION OF ELECTRIC POWER BY CONVERSION OF INFRA-REDRADIATION, VISIBLE LIGHT OR ULTRAVIOLET LIGHT, E.G. USINGPHOTOVOLTAIC [PV] MODULES INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS TESTING
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