LINEAR INSPECTION SYSTEM

본 개시내용의 실시예들은 일반적으로, 포괄적인, 확장가능한 기판 검사 시스템들에 관한 것이다. 검사 시스템들은, 두께, 비저항, 소우 마크(saw mark)들, 기하형상, 스테인(stain)들, 칩(chip)들, 마이크로 크랙(micro crack)들, 결정 프랙션(crystal fraction), 및 포토루미네선스(photoluminescence)를 포함하는, 기판의 하나 또는 그 초과의 특성들을 검사, 검출, 또는 측정하도록 적응된 다수의 계측 유닛들을 포함한다. 검사 시스템들은, 기판을 태양 전지로 프로세싱하기 전에, 기판들 상의 결함들을 식별하고, 기판으로 생산되는 태양 전지의 태양 전지 효율성을 추정하기 위해 활용될 수 있다. 기판들은 트랙 또는 컨베이어 상에서 계측 유닛들 사이의 검사 시스템을 통해 이송된 다음, 검사 데이터에 기반하여 소팅될 수 있다. Embodiments of the disclosure generally relate to comprehensive, expandable substrate inspection systems. The inspection systems include multiple metrology units adapted to inspect, detect, or measure one or more characteristics of a substrate, including thickness, resistivity, saw marks, geometry, stains, chips, micro cracks, crystal fraction, and photoluminescence. The inspection systems may be utilized to identify defects on substrates and estimate solar cell efficiency of a solar cell produced with the substrate, prior to processing a substrate into a solar cell. Substrates may be transferred through the inspection system between metrology units on a track or conveyor, and then sorted based upon inspection data.