SUBSTRATE LIFT PIN ACTUATOR

The present invention relates to a lift pin actuator. The lift pin actuator has a housing. The housing has an interior volume. A track is disposed in the interior volume, and is coupled to the housing. A center shaft is at least partially disposed in the interior volume. A guide is movably coupled to the track. At least one interior bellows is disposed in the interior volume, and the interior bellows forms a seal between the center shaft and the housing. An elastic member is disposed in the interior volume and is configured to apply force to retract the center shaft into the housing. An inlet port is configured to introduce a fluid into the interior volume between the housing and the interior bellows. Such a fluid generates force opposed to the elastic member, for extending the center shaft with respect to the housing. 본원에서 설명되는 구현예들은 리프트 핀 액추에이터를 제공한다. 리프트 핀 액추에이터는 하우징을 갖는다. 하우징은 내부 볼륨(interior volume)을 갖는다. 트랙이 내부 볼륨 내에 배치되고, 하우징에 커플링된다. 중앙 샤프트(center shaft)가 하우징의 내부 볼륨 내에 적어도 부분적으로 배치된다. 가이드가 트랙에 이동가능하게(movably) 커플링된다. 적어도 하나의 내부 벨로우즈가 내부 볼륨 내에 배치되며, 내부 벨로우즈는 중앙 샤프트와 하우징 사이에 시일(seal)을 형성한다. 탄성 부재가 내부 볼륨 내에 배치되고, 하우징 내로 중앙 샤프트를 리트랙팅(retract)시키는 힘을 가하도록 구성된다. 유입구 포트(inlet port)가, 하우징과 내부 벨로우즈 사이의 내부 볼륨 내로 유체를 도입시키도록 구성된다. 이러한 유체는, 하우징에 대해 중앙 샤프트를 연장시키기 위한, 탄성 부재에 대항하는(opposing) 힘을 발생시킨다.