Method for saving power in chiller apparatus for semiconductor fabricating process

The present invention relates to a power saving method of a chiller for a semiconductor process, which comprises the steps of: measuring a load amount applied to a process facility connected to a chiller; determining whether a load is applied to the process facility from the measured load amount; driving a compressor with the minimum number of rotation, and opening a hot gas valve with the maximum open rate when the load is not applied to the process facility; and driving the compressor with a predetermined number of rotation according to the measured load amount, and opening the hot gas valve with the minimum open rate when the load is applied to the process facility. Therefore, power consumption of the compressor is reduced, and power consumption of a brine heater is reduced by using hot gas supplied from the hot gas valve as a heating source. 칠러와 연결된 공정설비에 인가되는 부하량을 산출하고, 산출된 부하량으로부터 공정설비에 부하가 인가되는지를 판단하여 공정설비에 부하가 인가되지 않는 경우, 압축기를 최소 회전수로 운전하고 핫가스 밸브를 최대의 개도율로 개방하며, 공정설비에 부하가 인가되는 경우, 압축기를 산출된 부하량에 따라 기설정된 회전수로 운전하고 핫가스 밸브를 최소 개도율로 개방함으로써, 압축기에 의한 전력소모가 감소되고 핫가스 밸브로부터 공급되는 핫가스를 브라인의 가열 소스(source)로 사용하여 브라인 히터에 의한 전력소모가 감소되도록 한다.