TRANSPORT AND HANDING-OVER ARRANGEMENT FOR DISC-SHAPED SUBSTRATES VACUUM TREATMENT INSTALLATION AND METHOD FOR MANUFACTURE TREATED SUBSTRATES

디스크형 기판들을 위한 이송 및 인도 장치는 캐리어(3) 및 인수 장치(15)를 포함한다. 이 둘은 서로에 대해 상대적으로 이동 가능하다. 자화성 물질의 비교적 무거운 기판 캐리어(7)가 인수 장치(15)에서 영구 자석(17)의 거리 제어에 의해 인수 장치(15)로 인수되거나 그로부터 캐리어(3)로 복귀된다. 인수 장치(15)에서 영구 자석(17)의 제어적 구동은 공기압 피스톤/실린더 장치(19)에 의해 수행된다. A transport and handing-over arrangement for disc shaped substrate...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MATTEACCI PIERRE, GAECHTER BRUNO, VOSER STEPHAN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	디스크형 기판들을 위한 이송 및 인도 장치는 캐리어(3) 및 인수 장치(15)를 포함한다. 이 둘은 서로에 대해 상대적으로 이동 가능하다. 자화성 물질의 비교적 무거운 기판 캐리어(7)가 인수 장치(15)에서 영구 자석(17)의 거리 제어에 의해 인수 장치(15)로 인수되거나 그로부터 캐리어(3)로 복귀된다. 인수 장치(15)에서 영구 자석(17)의 제어적 구동은 공기압 피스톤/실린더 장치(19)에 의해 수행된다. A transport and handing-over arrangement for disc shaped substrates, comprising a carrier (3) and a take-over arrangement (15). Both are moveable relative to each other. A relatively heavy substrate carrier (7) of magnetisable material is taken-over from the take-over arrangement (15) by distance control of a permanent magnet (17) at the take-over arrangement (15) or is returned therefrom to a carrier (3). The controlled drive of the permanent magnets (17) in the take-over arrangement (15) is performed by means of pneumatic piston/cylinder arrangements (19).