LITHOGRAPHIC APPARATUS METHOD FOR POSITIONING AN OBJECT IN A LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

본 발명은, 제 1 대상물, 이동 방향으로 제 1 대상물에 대해 이동가능한 제 2 대상물, 제 1 및 제 2 대상물 사이에 배치되는 일 세트의 케이블 및/또는 튜빙, 일 세트의 케이블 및/또는 튜빙을 안내하는 안내 드럼 - 상기 안내 드럼은 이동 방향에 대해 수직으로 연장되는 회전 축을 중심으로 회전가능함 -, 안내 드럼이 제 1 대상물에 대한 제 2 대상물의 이동에 의해 유도되는 일 세트의 케이블 및/또는 튜빙의 이동을 따르도록 안내 드럼을 위치시키는 드럼 위치설정 디바이스, 및 이동 방향으로 안내 드럼의 이동을 안내하는 안내 구...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	BROERS SANDER CHRISTIAAN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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