LITHOGRAPHIC APPARATUS METHOD FOR POSITIONING AN OBJECT IN A LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

본 발명은, 제 1 대상물, 이동 방향으로 제 1 대상물에 대해 이동가능한 제 2 대상물, 제 1 및 제 2 대상물 사이에 배치되는 일 세트의 케이블 및/또는 튜빙, 일 세트의 케이블 및/또는 튜빙을 안내하는 안내 드럼 - 상기 안내 드럼은 이동 방향에 대해 수직으로 연장되는 회전 축을 중심으로 회전가능함 -, 안내 드럼이 제 1 대상물에 대한 제 2 대상물의 이동에 의해 유도되는 일 세트의 케이블 및/또는 튜빙의 이동을 따르도록 안내 드럼을 위치시키는 드럼 위치설정 디바이스, 및 이동 방향으로 안내 드럼의 이동을 안내하는 안내 구조체를 포함하는 리소그래피 장치에 관한 것이다. A lithographic apparatus including: a first object, a second object which is moveable relative to the first object in a moving direction, a set of cables and/or tubing arranged between the first object and the second object, a guiding drum to guide the set of cables and/or tubing, the guiding drum being rotatable about a rotation axis extending perpendicular to the moving direction, a drum positioning device to position the guiding drum such that it follows movement of the set of cables and/or tubing caused by movement of the second object relative to the first object and a guiding structure to guide movement of the guiding drum in the moving direction.