Gripper for gripping a substrate and apparatus including the same

Disclosed is a gripper to grip a substrate. The gripper includes: a base member including a boss member equipped with a rotation shaft; an upper gripper combined with the rotation shaft, and including an upper gripping member gripping the upper surface of the substrate; a lower gripper placed under the upper gripper, combined with the rotation shaft in a seesaw shape, and including a lower gripping member gripping the lower surface of the substrate; a vertical operating part pressurizing the rear end of the upper gripper downward to open the upper gripping member; and a rotating member having an end combined between the rotation shaft and the rear end of the upper gripper, and having the other end placed on the floor surface of the base member. More specifically, when the rear end of the upper gripping member is pressed by the operating part, the other end of the rotating member moves on the floor surface to the rear end of the lower gripper, thereby pressurizing the rear end of the lower gripper upward and opening the lower gripping member. 기판을 파지하기 위한 그리퍼가 개시된다. 상기 그리퍼는, 회전축이 장착되는 보스 부재가 구비된 베이스 부재와, 상기 회전축에 시소 형태로 결합되며 전단부에 기판의 상부면 부위를 파지하기 위한 상부 파지 부재가 구비된 상부 그리퍼와, 상기 상부 그리퍼의 아래에 배치되고 상기 회전축에 시소 형태로 결합되며 전단부에 상기 기판의 하부면 부위를 파지하기 위한 하부 파지 부재가 구비된 하부 그리퍼와, 상기 상부 그리퍼의 후단부를 하방으로 가압하여 상기 상부 파지 부재를 개방하기 위한 수직 구동부와, 상기 회전축과 상기 상부 그리퍼의 후단부 사이에 일단부가 회전 가능하게 결합되고 상기 베이스 부재의 바닥면 상에 타단부가 놓여지는 회동 부재를 포함한다. 특히, 상기 구동부에 의해 상기 상부 파지 부재의 후단부가 눌려지는 경우 상기 회동 부재의 타단부가 상기 바닥면 상에서 상기 하부 그리퍼의 후단부를 향하여 이동되며 이에 의해 상기 하부 그리퍼의 후단부가 상방으로 가압되고 상기 하부 파지 부재가 개방된다.