CRYOPUMP HYBRID FRONTAL ARRAY

극저온펌프는 냉장기, 냉장기에 의해 냉각되는 응축 어레이, 응축 어레이를 둘러싸고 냉장기에 의해 냉각되는 복사 차폐부를 포함한다. 복사 차폐부는, 냉장기에 의해 또한 냉각되는 정면 어레이에 의해 커버되는 정면 개구부를 갖는다. 정면 어레이는 정면 개구부의, 다른 방식으로는 실질적으로 개방된 중앙 영역에 걸친 루버들, 및 정면 개구부의 외측 영역에 걸친 오리피스 플레이트를 포함한다. 하이브리드 정면 어레이는, 오리피스 플레이트에 비교 가능한 유동 제어를 갖지만 루버 정면 어레이의 펌핑 속도들에 근사한 펌핑 속도들을 허용한다. A cryopump comprises a refrigerator, a condensing array cooled by the refrigerator, a radiation shield surrounding the condensing array and cooled by the refrigerator. The radiation shield has a frontal opening covered by a frontal array that is also cooled by the refrigerator. The frontal array comprises louvers across an otherwise substantially open center region of the frontal opening and an orifice plate across an outer region of the frontal opening. The hybrid frontal array allows for pumping speeds approximating those of a louver frontal array but with flow control comparable to an orifice plate.