TRANSPORTATION APPARATUS FOR MOVING AND/OR POSITIONING OBJECTS

본 발명은 객체들을 이동시키고, 그리고/또는 위치 결정하기 위한 이송 장치에 관한 것이며, 상기 이송 장치는, - 이송 방향(z)을 따라서 연장되면서 그 상에는 이송 방향(z)으로 서로 이격되어 있는 복수의 능동 제어형 자기 베어링(24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29)이 배치되어 있는 베이스(12)와; - 적어도 일부의 자기 베어링(24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29)에 의해 베이스(12) 상에 비접촉 방식으로 지지되어 적어도 하나의 구동장치(18)에 의해 이송 방향(z)으로 베이스(12)에 상대적으로 이동...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: EHMANN CHRISTIAN WOLFGANG, AENIS MARTIN, KLESEN CHRISTOF
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은 객체들을 이동시키고, 그리고/또는 위치 결정하기 위한 이송 장치에 관한 것이며, 상기 이송 장치는, - 이송 방향(z)을 따라서 연장되면서 그 상에는 이송 방향(z)으로 서로 이격되어 있는 복수의 능동 제어형 자기 베어링(24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29)이 배치되어 있는 베이스(12)와; - 적어도 일부의 자기 베어링(24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29)에 의해 베이스(12) 상에 비접촉 방식으로 지지되어 적어도 하나의 구동장치(18)에 의해 이송 방향(z)으로 베이스(12)에 상대적으로 이동 가능하면서 그 상에는 적어도 하나의 객체(80)가 배치될 수 있는 캐리어(30)와; - 자기 베어링(24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29)들에 상대적인 이송 방향(z)에서의 캐리어(30)의 위치를 검출하기 위한 적어도 하나의 검출 유닛(40, 42, 44, 46, 48)과; - 검출 유닛(40, 42, 44, 46, 48, 49)과 연결되어, 캐리어(30)의 검출된 위치에 따라서, 캐리어(30)와 자기 방식으로 작동 연결되어 있거나, 또는 사전 설정된 시간 간격 이내에 캐리어(30)와 작동 연결되는 적어도 하나의 자기 베어링(24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29)을 선택적으로 제어하기 위한 컨트롤러(50, 51)를; 포함한다. The present invention relates to a transportation apparatus for moving and/or positioning objects, comprising: - a base (12) which extends along a transportation direction (z) and on which a plurality of actively controlled magnetic bearings (24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29) which are spaced apart from one another in the transportation direction (z) are arranged, - a support (30) which is mounted in a contact-free manner on the base (12) by means of at least some magnetic bearings (24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29) and can be moved relative to the base (12) in the transportation direction (z) by means of at least one drive (18) and on which at least one object (80) can be arranged, - at least one detection device (40, 42, 44, 46, 48) for determining a position of the support (30) in the transportation direction (z) relative to the magnetic bearings (24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29), and - a controller (50, 51), which is coupled to the detection device (40, 42, 44, 46, 48, 49), for selectively driving at least one magnetic bearing (24a, 24b, 26a, 26b, 28, 29), which is magnetically operatively connected to the support (30) or forms an operative connection with the support (30) within a prespecified time interval, depending on the determined position of the support (30).