SEMICONDUCTOR DEVICE MODELS INCLUDING RE-USABLE SUB-STRUCTURES

재사용 가능한 파라미터적 모델에 기초하여 복잡한 디바이스 구조체의 측정 모델을 생성하기 위한 방법 및 툴이 제시된다. 이들 모델을 채용하는 계측 시스템은 상이한 반도체 제조 프로세스와 연계된 구조 특성 및 재료 특성을 측정하도록 구성된다. 재사용 가능한 파라미터적 서브구조체 모델은 모델 구축 툴의 사용자에 의해 입력된 독립적인 파라미터들의 세트에 의해 완전히 정의된다. 모델 형상 및 구성 기하학적 요소 사이의 내부 제약과 연계된 모든 다른 변수가 모델 내에 사전 정의된다. 일부 실시예에서, 하나 이상의 재사용 가능한 파라미터적 모델은 복잡한 반도체 디바이스의 측정 모델 내로 통합된다. 다른 양태에서, 모델 구축 툴은 사용자로부터의 입력에 기초하여 재사용 가능한 파라미터적 서브구조체 모델을 생성한다. 최종 모델은 다른 사용자에 의해 사용될 수 있는 파일로 익스포트(export)될 수 있고, 특정 사용자와의 민감한 지적 재산권의 공유를 제어하기 위한 보안 특징부를 포함할 수 있다. Methods and tools for generating measurement models of complex device structures based on re-useable, parametric models are presented. Metrology systems employing these models are configured to measure structural and material characteristics associated with different semiconductor fabrication processes. The re-useable, parametric sub-structure model is fully defined by a set of independent parameters entered by a user of the model building tool. All other variables associated with the model shape and internal constraints among constituent geometric elements are pre-defined within the model. In some embodiments, one or more re-useable, parametric models are integrated into a measurement model of a complex semiconductor device. In another aspect, a model building tool generates a re-useable, parametric sub-structure model based on input from a user. The resulting models can be exported to a file that can be used by others and may include security features to control the sharing of sensitive intellectual property with particular users.